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无尘室净化工程解决方案实施完毕运转维护流程
无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度;无尘室运转管理,可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨;无尘室内系统除了通称的空调系统之外,制程设备也包括在内,本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。 
 
一、污染源控制
无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件——管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%。
 
无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等;而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。
 
对硅芯片而言,微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路,使芯片失去运作功能,因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度,可为设计参考,而在微污染控制,其基本原则有四: 
 
1.外部尘埃侵入之防止:
无尘室适当之正压保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。
 
2.室内发尘之防止:
隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。
 
3.室内发尘之不积留:
墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。
 
4.发生尘埃之排除:
换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题,这些问题将于下节祥述。
发布人:管理员  文章来源: 来自网上  发布时间:2015-1-26
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